ການກະກຽມໂລຫະ
ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການຂູດອາຊິດ, ໂລຫະຕ້ອງໄດ້ຮັບການອະນາໄມຢ່າງລະອຽດກ່ອນທີ່ຈະປຸງແຕ່ງ.ແຕ່ລະຊິ້ນຂອງໂລຫະຖືກຂັດ, ເຮັດຄວາມສະອາດ, ແລະເຮັດຄວາມສະອາດໂດຍໃຊ້ຄວາມກົດດັນນ້ໍາແລະສານລະລາຍອ່ອນໆ.ຂະບວນການກໍາຈັດນ້ໍາມັນ, ສິ່ງປົນເປື້ອນ, ແລະອະນຸພາກຂະຫນາດນ້ອຍ.ນີ້ແມ່ນສິ່ງຈໍາເປັນເພື່ອສະຫນອງພື້ນຜິວທີ່ສະອາດກ້ຽງສໍາລັບການນໍາໃຊ້ຮູບເງົາ photoresist ເພື່ອຍຶດຫມັ້ນຢ່າງປອດໄພ.
Laminating ແຜ່ນໂລຫະທີ່ມີຮູບເງົາທົນທານຕໍ່ຮູບ
Lamination ແມ່ນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງຮູບເງົາ photoresist ໄດ້.ແຜ່ນໂລຫະຖືກຍ້າຍລະຫວ່າງ rollers ທີ່ເປືອກຫຸ້ມນອກແລະນໍາໃຊ້ lamination ເທົ່າທຽມກັນ.ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການເປີດເຜີຍຂອງແຜ່ນທີ່ບໍ່ສົມຄວນ, ຂະບວນການແມ່ນສໍາເລັດໃນຫ້ອງທີ່ມີໄຟສີເຫຼືອງເພື່ອປ້ອງກັນການຖືກແສງ UV.ການຈັດຕໍາແຫນ່ງທີ່ເຫມາະສົມຂອງແຜ່ນແມ່ນສະຫນອງໃຫ້ໂດຍຮູ punched ໃນແຄມຂອງແຜ່ນ.ຟອງຢູ່ໃນການເຄືອບ laminated ແມ່ນປ້ອງກັນໂດຍການປະທັບຕາສູນຍາກາດຂອງແຜ່ນ, ເຊິ່ງ flattens ຊັ້ນຂອງ laminate.
ເພື່ອກະກຽມໂລຫະສໍາລັບການ etching ໂລຫະ photochemical, ມັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການອະນາໄມຢ່າງລະອຽດເພື່ອເອົານ້ໍາມັນ, ສິ່ງປົນເປື້ອນ, ແລະອະນຸພາກ.ແຕ່ລະຊິ້ນສ່ວນຂອງໂລຫະຖືກຂັດ, ເຮັດຄວາມສະອາດ, ແລະລ້າງດ້ວຍສານລະລາຍອ່ອນໆແລະຄວາມກົດດັນນ້ໍາເພື່ອຮັບປະກັນພື້ນຜິວທີ່ລຽບ, ສະອາດສໍາລັບການນໍາໃຊ້ຮູບເງົາ photoresist.
ຂັ້ນຕອນຕໍ່ໄປແມ່ນ lamination, ເຊິ່ງກ່ຽວຂ້ອງກັບການນໍາໃຊ້ຮູບເງົາ photoresist ກັບແຜ່ນໂລຫະ.ແຜ່ນໄດ້ຖືກຍ້າຍລະຫວ່າງ rollers ເພື່ອເປືອກຫຸ້ມນອກເທົ່າທຽມກັນແລະນໍາໃຊ້ຮູບເງົາ.ຂະບວນການດັ່ງກ່າວແມ່ນດໍາເນີນຢູ່ໃນຫ້ອງທີ່ມີແສງສະຫວ່າງສີເຫຼືອງເພື່ອປ້ອງກັນການໄດ້ຮັບແສງ UV.ຮູທີ່ເຈາະຢູ່ໃນຂອບຂອງແຜ່ນໃຫ້ຄວາມສອດຄ່ອງທີ່ເຫມາະສົມ, ໃນຂະນະທີ່ການປະທັບຕາສູນຍາກາດເຮັດໃຫ້ຊັ້ນຂອງ laminate ລຽບແລະປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ເກີດຟອງ.
